(untitled) (Journal of Universal Science Research, 2024)
Метан сенсорларига бўлган қизиқиш, шубҳасиз, уларнинг экологияда, кимёда ва нефть-газ саноатида техника хавфсизлигини таъминлашда кенг қўлланилишидан келиб чиқади. Ҳозирги вақтда яримўтказгичли сенсорларнинг (ЯЎС) сезгир элементлари сифатида металл оксидлари кенг қўлланилмоқда. Метаннинг яримўтказгичли сенсорининг (ЯЎС-СН4) газсезгир қатлами сифатида рух, темир, никель, кобальт, индий, кумуш ва бошқа металл оксидларидан фойдаланилган.